LT300 Präziser Lineartisch für hohe Belastungen Anwendung: Transporttisch, Scanningtisch für hohe Lasten Vorteil: Hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Features: Spindel mit Trockenschmierung oder Kugelumlaufspindel mit flüssigen Piezobremsen für nm-Stabilität - Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11 mbar - Magnetismus: magnetisch - Schmierung: flüssig bis zu 10E-8 / trocken bis zu 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Optionen: - Erhältlich mit Piezo-Bremse - Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung - Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer - Optional mit Steuerung FMC400/450 Technische Daten - Verfahrweg: 50 mm - 100 mm - Wiederholgenauigkeit: ± 2,4 µm, ± 0,4 µm (unidirektional) ± 1,9 µm (bidirektional) - Last: → 44 N / ↑ 120 N - Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s - Motor: Schrittmotor - Führung: Kreuzrollenlager aus Edelstahl, Hybrid - Feedback: Lineare Skala - Auflösung Feedback: ± 0,1 µm