LA95 Anwendung: Transportstufe, Abtaststufe Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung Merkmale: Spindel mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung - Vakuum: alle Druckbereiche HV / UHV bis zu 10E-9 mbar - Magnetismus: magnetisch - Schmierung: Flüssigschmierung bis 10E-8 / Trockenschmierung bis 10E-11 mbar - Max. Ausheiztemperatur: 120°C Technische Daten - Verfahrwege: 40mm, 80mm, 185mm - Wiederholgenauigkeit: ± 1,9 µm, ± 0,4 µm (unidirektional) ± 2,9 µm, ± 0,5 µm (bidirektional) - Last: → 45 N / ↑ 40 N - Max. Geschwindigkeit: 8,4 mm/s - Motor: Schrittmotor - Führung: Kreuzrollenlager Edelstahl, Hybrid, optional Keramik - Feedback: Linearmesssystem, Open Loop - Auflösung der Messsystem: 0,001 µm - 0,1 µm