Tokyo Electron und NVIDIA erweitern Zusammenarbeit zur Förderung der KI-Automatisierung in Chipfabriken
2026-07-20 14:00
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de.wedoany.com-Bericht: Der japanische Halbleiterausrüster Tokyo Electron (TEL) und NVIDIA haben ihre Zusammenarbeit ausgeweitet, um die Automatisierung von Halbleiterfabriken (Fabs) und die intelligente Wartung von Anlagen voranzutreiben. Ziel ist es, durch den Aufbau eines autonomen Anlagenbetriebssystems die Produktivität und Ausbeute der Kunden zu steigern.

Das Konzept der digitalen Transformationslösung (DX) von Tokyo Electron: Epsira. [Foto: Tokyo Electron]

Tokyo Electron gab am 20. Juli bekannt, dass es die Zusammenarbeit mit NVIDIA, dem führenden Unternehmen im Bereich der Künstlichen Intelligenz (KI)-Halbleiter, umfassend ausweiten wird, um die Entwicklung von „Agentic AI“ und Robotik-Lösungen zu verstärken.

Durch diese Zusammenarbeit wird Tokyo Electron die hochmoderne Softwaretechnologie von NVIDIA in sein zentrales Konzept für digitale Transformationslösungen (DX), „Epsira™“, integrieren. Zu den konkret eingeführten Technologien gehören das „NVIDIA Agentic Toolkit“, bestehend aus NVIDIA NeMo, NIM, NemoClaw Blueprints, sowie die offene Roboterentwicklungsplattform „NVIDIA Isaac“.

Auf Basis der NVIDIA Isaac-Plattform wird Tokyo Electron eine 3D-Digital-Twin-Umgebung aufbauen, die mit der Bibliothek der Echtzeit-Computing-Plattform „NVIDIA Omniverse“ verknüpft ist. Anlagendesign-Daten werden in diese Umgebung übertragen, um in einem virtuellen Raum schnell präzise Simulationen durchzuführen.

Halbleiterfertigungsanlagen sind strukturell komplex, und die Roboterwartung muss präzise an die Anlagenkonfiguration angepasst werden. Die auf virtuellen Simulationen basierende Digital-Twin-Technologie kann die Geschwindigkeit und Genauigkeit des Roboterarbeitslernens in kurzer Zeit erheblich verbessern, ohne die tatsächlichen Anlagen zu beschädigen. Darüber hinaus können durch die speziell für Agenten entwickelten Plattformen NeMo und NemoClaw das Lernen, die Feinabstimmung und die Bewertung von KI-Modellen erheblich beschleunigt werden. Zudem wird eine Grundlage für den sicheren Einsatz und Betrieb in der realen Umgebung geschaffen, um die Anlagenverfügbarkeit zu maximieren.

Epsira von Tokyo Electron ist eine digitale Transformations-Infrastruktur, die auf Datennutzung basiert, um die Halbleiterfertigungsproduktivität der Kunden zu steigern. Diese Lösung ist mit KI-basierten Analysen zur Verlängerung der Nassreinigungszyklen (MTBWC), Roboterwartung, KI-Problemlösungsanalysen und anderen Technologien ausgestattet, die planmäßige Wartungs- und unerwartete Ausfallzeiten minimieren und selbst unerfahrenen Bedienern eine optimale Betriebsumgebung ermöglichen.

Keiichi Matsushima, Vizepräsident der Unternehmensentwicklungsabteilung von Tokyo Electron, erklärte, dass die Vertiefung der Partnerschaft mit NVIDIA, das die KI-Ära anführt, von großer Bedeutung sei. Auf dieser Grundlage werde Tokyo Electron seine Fähigkeiten in der Roboterwartung und KI-Fehleranalyse kontinuierlich verbessern und so zur Maximierung der Kundenproduktivität beitragen.

Amit Goel, Senior Director für Robotik und Edge-KI-Ökosysteme bei NVIDIA, sagte, dass die Halbleiterfertigung an einem neuen Wendepunkt der Automatisierung stehe und die Robotik eine entscheidende Achse für die Steigerung der Verfügbarkeit und Widerstandsfähigkeit moderner Fabriken sei. Tokyo Electron nutze die Agentic- und Physical-AI-Frameworks von NVIDIA, um den Fabrikbetrieb intelligenter zu gestalten.

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