Air Products erweitert Halbleiter-Industriegasanlagen in Pyeongtaek, Südkorea

de.wedoany.com-Bericht: Am 4. September reichte Air Products bei der südkoreanischen Regierung einen Investitionsplan ein, um in Pyeongtaek in der Provinz Gyeonggi die Industriegas- und Edelgasanlagen für Halbleiter zu erweitern und damit das neue Halbleiterfertigungswerk von Samsung Electronics in Pyeongtaek mit Gasen zu versorgen. Air Products wird Anlagen zur Herstellung von hochreinen Gasen errichten und neue Anlagen zur Trennung und Reinigung von Halbleiter-Edelgasen hinzufügen. Die an diesem Tag von Air Products, Axcelis Technologies, Corning und Pacifico Energy eingereichten Investitionspläne für Südkorea belaufen sich zusammen auf etwa 2 Milliarden US-Dollar. Die südkoreanische Regierung hat die Investitionssumme für das Air-Products-Projekt nicht separat bekannt gegeben.

Das Projekt umfasst Produktions- und Versorgungseinrichtungen für Stickstoff, Sauerstoff, Argon und Wasserstoff. Die entsprechenden Gase werden über eine eigene Pipeline im Pyeongtaek-Werk zu den Halbleiterfertigungsanlagen von Samsung Electronics transportiert. Air Products wird außerdem ein Versorgungsnetz für Bulk-Gase aufbauen. Die Edelgasanlagen betreffen die Trennung und Reinigung von Neon, Krypton und Xenon.

Samsung Electronics hat Air Products am 29. April als Lieferanten für Industriegase für das nächste Generation umfassende Halbleiterwerk in Pyeongtaek ausgewählt. Air Products wird vor Ort mehrere Gasproduktionsanlagen und Bulk-Gas-Verteilungsanlagen errichten, besitzen und betreiben. Die Anlagen sollen zwischen 2028 und 2030 schrittweise in Betrieb genommen werden. Die ersten Gasversorgungsleitungen sollen ab 2028 Industriegase an die neu errichtete Waferfabrik von Samsung Electronics liefern.

Air Products hat in Pyeongtaek bereits die Planungs- und Genehmigungsarbeiten für die Gas-Trennanlagen vor Ort vorangetrieben. Der am 4. September eingereichte Investitionsplan umfasst die Erweiterung der Halbleitergasanlagen in Pyeongtaek sowie den Bau von Anlagen zur Trennung und Reinigung von Edelgasen. Die von der südkoreanischen Regierung bekannt gegebene Investitionsliste umfasst außerdem die Ausweitung der Produktion von Ionenimplantationsanlagen durch Axcelis Technologies in Südkorea, die Ausweitung der Investitionen von Corning in fortschrittliches Glas und Halbleitermaterialien sowie das Offshore-Windkraftprojekt von Pacifico Energy mit 3,2 GW im Südwesten Südkoreas.

Air Products hat in diesem Fall keine Angaben zu den Kapazitäten der einzelnen Gaserzeugungsanlagen, den Reinigungskapazitäten für Edelgase, der Länge der Werkspipeline oder der separaten Investitionssumme des Projekts gemacht. Der bestehende Bauzeitplan sieht eine schrittweise Inbetriebnahme zwischen 2028 und 2030 vor.