de.wedoany.com-Bericht: Am 19. Juli nahm die Binhua-Gruppe im Rahmen des „Beiji“-Projekts die Produktion von hochreinem Fluorwasserstoffgas in Elektronikqualität auf und stellte neue Produkte vor. Die Binhua-Gruppe erzielte technologische Durchbrüche in den vier Bereichen Verfahren, Technik, Prüfung und Abfüllung und realisierte einen geschlossenen Regelkreis von der Herstellung bis zur Verpackung. Ihr hochreines Fluorwasserstoffprodukt für die Halbleiterindustrie erreicht eine Reinheit von 6N (99,9999 %) und liegt damit auf internationalem Spitzenniveau.
Hochreiner Fluorwasserstoff gilt als das „Blut“ der Halbleiterherstellung und ist ein unersetzliches Material bei der Reinigung, Ätzung und Kammerwartung. Seine Reinheit bestimmt direkt die Ausbeute der Wafer. 6N-hochreiner Fluorwasserstoff ist ein notwendiges Material für fortschrittliche Verfahren ab 28 nm und darunter. China war lange Zeit auf Importe angewiesen, während ausländische Unternehmen rund 80 % des globalen Marktes für 6N-hochreinen Fluorwasserstoff monopolisierten.
Halbleiterqualität von Fluorwasserstoff erfordert eine Reinheit von über 99,999 % (5N). Der Schritt von 5N auf 6N bedeutet nicht nur eine zusätzliche Reinigung, sondern erfordert ein völlig neues Reinigungssystem. Laut Liu Teng, General Manager der Abteilung für Spezialchemikalien der Binhua-Gruppe, liegt der Schlüssel zur Erreichung der 6N-Reinheit in der Entfernung von Spurenwasser, Kohlendioxid, sauerstoffhaltigen organischen Verbindungen und anderen mischbaren Verunreinigungen im Fluorwasserstoff. Die Binhua-Gruppe hat im Rektifikationsbereich ein mehrstufiges Rektifikationskopplungssystem entwickelt. Durch die Optimierung der Kolonneninnenteile und des Betriebsfensters wird unter einem bestimmten Druckgradienten eine tiefgehende Entfernung von Kohlenstoff- und Sauerstoffverunreinigungen erreicht, wodurch diese kritischen Verunreinigungen an der Quelle kontrolliert werden. Gleichzeitig hat die Binhua-Gruppe angesichts der Anfälligkeit der Kohlendioxidanalyse für Umgebungseinflüsse ein eigenes geschlossenes Präzisionsprobenahmesystem und ein hochempfindliches Analyseschema entwickelt, das die Hintergrundstörungen der Umgebung während der Probenahme minimiert. Dies stellt sicher, dass die Analysedaten die tatsächliche Produktqualität widerspiegeln und die Stabilität und Zuverlässigkeit des 6N-Indikators gewährleisten.
Der Durchbruch bei 6N ist das Ergebnis einer systematischen technologischen Bewältigung in den vier Bereichen Verfahren, Technik, Prüfung und Abfüllung. Im technischen Bereich hat die Binhua-Gruppe die Kontrolle der Verunreinigungsausfällung bei der Materialauswahl und die Strömungsfeldzirkulationstechnologie gemeistert, um eine kontaminationsfreie Herstellung zu gewährleisten. Im Abfüllbereich wurden die Technologien zur Vorbehandlung und zum Schutz von Stahlflaschen sowie zur Verdrängung und Entfernung von Verunreinigungen durchbrochen, um die letzte Hürde vor dem Produktversand zu nehmen. Die vier technologischen Bereiche bilden einen geschlossenen Regelkreis, der die Produktqualität stabil auf dem 6N-Niveau hält und internationales Spitzenniveau erreicht.
Derzeit liegt der Marktpreis für 6N-hochreinen Fluorwasserstoff bei über 2 Millionen Yuan pro Tonne. Die Binhua-Gruppe hat den Bau und die Inbetriebnahme einer Abfülllinie für 50 Tonnen hochreinen Fluorwasserstoff in Stahlflaschen pro Jahr abgeschlossen, die Genehmigung zum Abfüllen von Gasflaschen durch die Prüfstelle für Sonderausrüstung der Provinz Shandong erhalten, verfügt über vollständige Genehmigungen für Produktion, Abfüllung und Verkauf und hat bereits mit der Produktvorstellung bei wichtigen in- und ausländischen Kunden begonnen.
