de.wedoany.com-Bericht: Deutschland PI (Physik Instrumente) hat einen leistungsstarken Parallelkinematik-Z-Kipptisch A-523 auf Basis der luftgelagerten Linearführungstechnologie vorgestellt. Dieses kompakte, luftgelagerte Positioniersystem wurde für anspruchsvolle Anwendungen in den Bereichen Ausrichtung, Inspektion, Messtechnik, Halbleiter und Photonik entwickelt.
Der A-523 vereint durch sein Parallelkinematik-Design die drei Freiheitsgrade Z, Neigung und Kippen in einer kompakten Baugruppe. Die Plattform verwendet reibungsfreie Luftlager, kernlose Direktantriebs-Linearmotoren und optische Encoder mit Nanometerauflösung und bietet so eine hervorragende Positionierleistung, während gleichzeitig Verschleiß, Wartungsaufwand und Kriecheffekte, die mit herkömmlichen mechanischen Lagersystemen verbunden sind, eliminiert werden. Das System bietet einen Z-Hub von 5 mm, einen Neigungs-/Kippbewegungsbereich von bis zu ca. 2 Grad und kann auf einer großen Plattform mit 250 mm Durchmesser Nutzlasten von bis zu 8 kg tragen.
Im Gegensatz zu gestapelten mechanischen Plattformen verwendet der A-523 eine Parallelkinematik-Architektur, bei der eine einzelne Bewegungsplattform von drei synchronisierten Linearmotoren angetrieben wird. Dieses Design reduziert die Bauhöhe, verringert die bewegte Masse und Trägheit und eliminiert die bei gestapelten Achssystemen übliche Akkumulation geometrischer Fehler, wodurch hochdynamische Bewegungen mit hoher Wiederholgenauigkeit, Positioniergenauigkeit und Langzeitstabilität ermöglicht werden. Das reibungsfreie Luftlagerdesign sorgt für spielfreie, hysteresefreie und verschleißfreie, sanfte Bewegungen. Da keine Wälzkörper oder mechanischen Kontaktflächen vorhanden sind, eignet sich das System für Reinraumumgebungen sowie für Anwendungen, die eine lange Lebensdauer und gleichbleibende Leistung erfordern.
Der A-523 eignet sich für Wafer-Inspektion, Halbleiter-Messtechnik, maskenlose Lithographie, Faserpositionierung, optische Ausrichtung, Flachbildschirm-Inspektion und fortschrittliche Photonik-Fertigung. Seine hohe Beschleunigungsfähigkeit, sein ultradünnes Design und seine nanometergenaue Rückmeldeauflösung unterstützen sowohl statische Ausrichtungsaufgaben als auch automatisierte Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz. Für mehrachsige Anwendungen kann der A-523 mit planaren Luftlagerplattformen (z. B. A-311) oder in Kombination mit der A-361 XYθ-Luftlagerplattform integriert werden, um kompakte 5- und 6-Achs-Bewegungssysteme für die Präzisionsautomatisierung und fortschrittliche Fertigung zu bilden.
Zu den Hauptmerkmalen des A-523 gehören: reibungsfreie Luftlagerführung, Z-Hubbereich von 5 mm, Neigungs-/Kippbewegung bis zu 2 Grad, Nutzlastkapazität bis zu 8 kg, große 250 mm (10 Zoll) Plattform, ultradünnes Design (nur 60 mm hoch), kernlose Direktantriebs-Linearmotoren, Encoderauflösung von 1 nm, Reinraumtauglichkeit sowie eine verschleißfreie, schmierungsfreie und wartungsfreie Bewegungsplattform. Dieses Produkt erweitert die Produktlinie der ultrapräzisen luftgelagerten Bewegungssysteme von PI und bietet Ingenieuren und Forschern eine kompakte Hochleistungslösung für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Präzision, Stabilität, Reinheit und dynamische Leistung.
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