de.wedoany.com-Bericht: Das erste Waferwerk von Südkoreas SK Hynix im Halbleitercluster Yongin hat die Phase der Installation von Reinräumen und Prozessversorgungssystemen erreicht. Das südkoreanische Unternehmen TEMC CNS hat mit der Lieferung und Installation des zentralen Chemikalienversorgungssystems für das Werk begonnen. Dies bedeutet, dass sich der Schwerpunkt des Projekts allmählich von der Hauptstruktur des Gebäudes auf die Reinraumproduktionsumgebung, den Transport von Prozessmedien und die Ausstattung für den Gerätebetrieb verlagert. Der erste Reinraum soll planmäßig im Februar 2027 eröffnet werden, etwa drei Monate früher als ursprünglich vorgesehen.
Das zentrale Chemikalienversorgungssystem ist eine wichtige Infrastruktur in einem Waferwerk. Es ist dafür verantwortlich, hochreine Chemikalien sicher von einem zentralen Lagerbereich zu den Produktionsanlagen für Ätzen, Reinigen, Abscheiden usw. zu transportieren. Der diesmalige Installationsumfang umfasst Versorgungssysteme für anorganische und organische Bulk-Chemikalien, Ventilverteilerkästen sowie ein Chemikalienmanagementsystem zur Überwachung des Lager-, Verteilungs- und Betriebszustands der Chemikalien. Erst nach Inbetriebnahme dieser Anlagen können stabile Medienversorgungsbedingungen für den anschließenden Einzug der Waferfertigungsanlagen, deren Anschluss und die Prozesseinrichtung geschaffen werden.
Der Auftragswert für das südkoreanische Unternehmen TEMC CNS für dieses Projekt beträgt 25,25 Milliarden KRW. Im Gegensatz zu Rohrleitungen in gewöhnlichen Fabrikgebäuden muss das Chemikalienversorgungssystem für Halbleiter Anforderungen an hohe Reinheit, Leckagesicherheit, Kontaminationsschutz und Dauerbetrieb erfüllen. Transportleitungen, Ventile, Überwachungsgeräte und Geräteschnittstellen müssen vor der Inbetriebnahme des Reinraums installiert und getestet werden. Daher ist der Baubeginn des zentralen Chemikaliensystems ein wichtiger Meilenstein, der den Übergang des Waferwerks von der Bauphase zur Phase des Aufbaus der Produktionsanlagen markiert.
Das erste Waferwerk von SK Hynix in Yongin wird aus zwei Hauptgebäudestrukturen und sechs Reinräumen bestehen. Das Unternehmen hat beschlossen, zusätzlich 21,6081 Billionen KRW für den Bau von Reinräumen und Produktionsanlagen bereitzustellen. Zusammen mit den bisherigen Investitionen belaufen sich die Gesamtbaukosten für das erste Waferwerk auf etwa 31 Billionen KRW. SK Hynix gab an, dass die zusätzlichen Mittel für die Fertigstellung der Gebäudestruktur und den Bau der Reinproduktionsflächen von der zweiten bis zur sechsten Phase verwendet werden, um frühzeitig eine Fertigungsbasis zu schaffen, die für die anschließende Geräteinstallation und Kapazitätserweiterung genutzt werden kann.
Der Halbleitercluster Yongin befindet sich in Wonsam-myeon, Yongin-si, Gyeonggi-do, Südkorea. Er erstreckt sich über eine geplante Fläche von etwa 4,15 Millionen Quadratmetern. Letztendlich sollen hier vier fortschrittliche Halbleiterwaferwerke entstehen, und es sollen Unternehmen für Materialien, Komponenten und Anlagen angezogen werden, um einen unterstützenden Industriekomplex zu bilden. Nach der Fertigstellung des ersten Waferwerks wird es eine wichtige Produktionsstätte für SK Hynix' nächste Generation von DRAM- und KI-Speichern sein. Anschließend müssen noch die Innenausstattung der Reinräume, der Bau von Systemen für Reinstwasser und Spezialgase, der Einzug der Fertigungsanlagen und die werkweite Prozessabstimmung erfolgen.
Die Eröffnung des ersten Reinraums bedeutet nicht, dass das Waferwerk sofort eine vollständige Massenproduktionskapazität erreicht. Nach Fertigstellung der Reinproduktionsbereiche müssen Fertigungsanlagen für Lithografie, Dünnschichtabscheidung, Ätzen, Reinigen und Prüfen in Chargen eingebracht werden. Anschließend müssen die Rohrleitungsanschlüsse, Einzelmaschinenqualifikationen und die Prozessabstimmung durchgeführt werden. Die diesmalige Installation des zentralen Chemikalienversorgungssystems zeigt, dass sich das Yongin Phase-1-Werk bereits in der Phase der Infrastrukturverbesserung vor der Aufnahme von Halbleiterproduktionsanlagen befindet.
Nach dem aktuellen Bauplan verkürzt SK Hynix die Bauzeit für das Yongin Phase-1-Projekt, um früher Produktionsflächen für fortschrittliche Speicherchips zu erhalten. Das Unternehmen hat bisher weder das genaue Einzugsdatum für die ersten Anlagen, die monatliche Waferproduktionskapazität noch den offiziellen Starttermin der Massenproduktion bekannt gegeben.
