de.wedoany.com-Bericht: Das Korea Institute of Energy Research gab am 11. bekannt, dass das Team um den leitenden Forscher Yoon Hyung-chul des Labors für saubere Brennstoffe erfolgreich die erste südkoreanische Produktionstechnologie für hochreines deuteriertes Ammoniak (ND₃) entwickelt hat. Der Technologiereifegrad (TRL) liegt bei Stufe 7 oder höher (von insgesamt 9 Stufen) und die Produktproduktion wurde nachgewiesen.
Deuteriertes Ammoniak (ND₃) ist ein hochwertiges Isotopenmaterial, das in der Halbleiterfertigung für hochintegrierte DRAM- und SONOS-Prozesse (Silizium-Oxid-Nitrid-Oxid-Silizium) verwendet wird. Derzeit gibt es in Südkorea keine Produktionsanlagen für ND₃, und der Großteil wird importiert.
Das Forschungsteam setzte einen selbst entwickelten Ruthenium-Katalysator ein und erreichte erfolgreich eine Tagesproduktion von 7,7 kg deuteriertem Ammoniak. Der Stromverbrauch für die Herstellung von 1 kg deuteriertem Ammoniak liegt unter 50 kWh. Dieser Katalysator senkt den für die herkömmliche Synthese von deuteriertem Ammoniak erforderlichen Druck auf ein Fünftel und verbessert die Temperaturbedingungen, sodass hochreines deuteriertes Ammoniak mit einer Reinheit von über 99 % synthetisiert werden kann. Das Team führte außerdem einen Dauerbetriebstest über 1000 Stunden durch und erhielt die Zertifizierung des Korea Testing Laboratory. Im produzierten Ammoniak wurden keine Verunreinigungen wie 49 Metalle nachgewiesen.
Das Forschungsteam erklärte, dass dieses Ammoniak sofort in Bereichen wie Spezialgasen für Halbleiter-Plasmaprozesse, Isotopenmaterialien für Displays und nächste Generation elektronischer Bauteile, Reagenzien für die Kernspinresonanz (NMR)-Analyse, Materialien für Isotopen-Tracer-Studien und präzise chemische Reaktionsforschung sowie als Plattform für hochwertige Isotopen-Spezialgase eingesetzt werden kann.
Der leitende Forscher Yoon Hyung-chul sagte, dass durch die Sicherung einer inländischen Produktionsbasis die Importabhängigkeit verringert werden könne und man in Zukunft auch in den globalen Markt für Spezialgase einsteigen könne. Es sei geplant, durch Prozessoptimierung und Produktionsausweitung offiziell in den Markt für Isotopenmaterialien in der Halbleiter-, Display- und Feinchemieindustrie einzusteigen.
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