de.wedoany.com-Bericht: Das russische Ministerium für Industrie und Handel (Минпромторг) hat über zwei Ausschreibungen insgesamt fast 2 Milliarden Rubel für die Entwicklung und Produktion von Materialien für die Elektronenstrahl- und Abhebungs-Lithografie bereitgestellt, die für die Herstellung von Mikroelektronik- und Mikrowellenkomponenten benötigt werden.
Die erste Ausschreibung beläuft sich auf 1,017 Milliarden Rubel für die Entwicklung von Elektronenstrahl-Lithografiematerialien; die zweite Ausschreibung umfasst 889,5 Millionen Rubel für die Entwicklung von Abhebungs-Lithografiematerialien. Beide Arbeiten müssen bis November 2029 abgeschlossen sein.
Im Rahmen des Projekts „Mikrowellen-Resist-1" (СВЧ Резист-1) ist die Entwicklung von 12 Elektronenstrahl-Resisten geplant, die Produkte der deutschen Unternehmen Allresist und Microresist, des japanischen Unternehmens ZEON sowie des US-amerikanischen Unternehmens MicroChem ersetzen sollen. Das Projekt „Mikrowellen-Resist-2" (СВЧ Резист-2) sieht die Entwicklung von 7 Materialien vor, die die US-amerikanischen LOR- und PMGI-Resist-Serien ersetzen. In den Unterlagen wird darauf hingewiesen, dass Russland derzeit nicht über die heimische Produktionskapazität für solche Materialien verfügt und der Forschungs- und Industriebedarf bisher vollständig durch ausländische Lieferungen gedeckt wurde. Die Elektronenstrahl-Lithografie ermöglicht die Herstellung ultrapräziser Strukturen mit einer Auflösung im Nanometerbereich und wird häufig in der Entwicklung von Chips und Masken eingesetzt. Die Abhebungs-Lithografie dient der Bildung von Metallstrukturen in der Mikroelektronik und findet wichtige Anwendungen in der Mikrowellen- und Leistungselektronik.
Die neue Ausschreibungsrunde ist eine Fortsetzung des Programms zur Importsubstitution von Mikroelektronikmaterialien. Zuvor hatte das russische Ministerium für Industrie und Handel bereits Mittel für die Entwicklung von Fotolacken, Spezialgasen und chemischen Materialien bereitgestellt, die für integrierte Schaltkreise und Halbleiterkomponenten benötigt werden.
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