de.wedoany.com-Bericht: Das Ministerium für Industrie und Handel der Russischen Föderation (Минпромторг РФ) plant, rund 1,4 Milliarden Rubel für die Entwicklung einer inländischen Nasschemie-Behandlungsanlage für Siliziumwafer bereitzustellen. Die Anlage ist eine automatisierte Produktionslinie, die hauptsächlich zum Ätzen, Reinigen und Trocknen von Siliziumwafern mit Durchmessern von 100, 150 und 200 Millimetern dient und die derzeit von russischen Unternehmen verwendeten US-amerikanischen und japanischen Produkte ersetzen soll.
Die Ausschreibung für die Entwicklung des Prototyps wurde auf dem Portal für öffentliche Aufträge veröffentlicht. Gemäß den Ausschreibungsbedingungen muss die Anlage Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm verarbeiten können, mit einer maximalen Chargengröße von 100 Wafern. Die Anlage muss mit mindestens acht Chemikalien kompatibel sein, darunter Flusssäure, Schwefelsäure, Salzsäure, Ammoniakwasser und Wasserstoffperoxid. Für verschiedene Prozessschritte werden unterschiedliche chemische Rezepturen verwendet, und das System muss in der Lage sein, automatisch zwischen inkompatiblen Substanzen umzuschalten, ohne dass diese sich vermischen. Schlüsselkomponenten wie Rotor, Chemikalienversorgungssystem, Steuerung und Software müssen aus russischer Produktion stammen; importierte Komponenten dürfen nur mit Zustimmung des Kunden verwendet werden.
Das Ministerium für Industrie und Handel plant, die Entwicklungsarbeiten bis November 2029 abzuschließen. Der Auftragnehmer wurde am 19. Juni bestimmt, sein Name wird jedoch im öffentlichen Auftragssystem nicht angezeigt. Das Ministerium hat den Gewinner vor Vertragsunterzeichnung nicht bekannt gegeben, bestätigte jedoch, dass diese Richtung im Rahmen des Programms für elektronische Maschinenbauplanung weiterverfolgt wird. Experten erklären, dass Nassätzen ein Verfahren ist, bei dem chemische Lösungen verwendet werden, um die Oberflächenschicht eines Materials gleichmäßig aufzulösen. Es dient zum Entfernen dicker Schichten, zur Beseitigung von Verunreinigungen und zum defektfreien, selektiven Abtragen von Material. In den frühen Phasen der Serienproduktion wird Nassätzen häufiger eingesetzt, während für feinere Arbeiten Plasma-Chemie-Ätzen verwendet wird. Letzteres nutzt ionisiertes Gas in einer Vakuumkammer, um auf das Material einzuwirken und Strukturen mit hoher Präzision zu erzeugen. Nassverfahren sind kostengünstiger und lassen sich leichter in die Serienproduktion integrieren.
Die chemische Behandlungsphase bestimmt die Qualität der zukünftigen Chips, daher muss die Anlage das Ätzen, Reinigen und Trocknen der Siliziumwafer unter streng kontrollierten Bedingungen durchführen. Die Stabilität dieser Prozesse bestimmt die Zuverlässigkeit des gesamten Fertigungsablaufs. Derzeit gibt es in Russland keinen direkten inländischen Ersatz für solche Anlagen. Allerdings verfügt das Land über gewisse Fähigkeiten in den Bereichen Automatisierung, chemikalienbeständige Materialien und Industriesoftware. Experten vermuten, dass die Entwicklung möglicherweise von Einrichtungen der Gruppe „Элемент" übernommen wird, darunter das Russische Institut für Mikroelektronik (НИИМЭ) und das Russische Technische Institut für Mikroelektronik (НИИТМ). Nach Einschätzung von Experten reichen die angekündigten Mittel für die experimentellen Konstruktionsarbeiten aus, jedoch ohne großen Spielraum. Solche Projekte erfordern langwierige Einrichtungs-, Test- und Nacharbeiten, Arbeiten in Reinraumumgebungen sowie mehrere Iterationen. Die Zusammenarbeit sowie der Zugang zu Technologien und Materialien werden entscheidende Faktoren sein.
Im Juni 2026 veröffentlichte das Ministerium für Industrie und Handel zudem Ausschreibungen für andere experimentelle Konstruktionsarbeiten im Bereich der Mikroelektronik mit einem Gesamtfördervolumen von 7,6 Milliarden Rubel. Diese Mittel sind für die Entwicklung von Geräten und Materialien vorgesehen, die für Lithografie, Molekularstrahlepitaxie, Ionenimplantationskontrolle und Rasterelektronenmikroskopie benötigt werden. Nach Angaben von Waleri Piwenja (Валерий Пивеня), Direktor der Abteilung für Werkzeugmaschinenbau und Schwerindustrie des Ministeriums für Industrie und Handel, ist das Produktionsvolumen der Branche von 2,93 Milliarden Rubel im Jahr 2023 auf 5,32 Milliarden Rubel im Jahr 2025 gestiegen. Für 2026 wird ein weiteres Wachstum um fast 5 % auf 5,58 Milliarden Rubel erwartet.
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