de.wedoany.com-Bericht: Die Produktionskapazität der Reinigungslinie für halbleiterreines Polysilizium am Standort Burghausen der Wacker Chemie AG in Deutschland stieg nach der vollständigen Automatisierung um über 50 %. Das Projekt wurde von SCIO Automation als Generalunternehmer durchgeführt, der Vertrag im Frühjahr 2022 unterzeichnet, die Inbetriebnahme im März 2024 gestartet, die Testphase im September desselben Jahres eingeleitet und die Anlage 2025 offiziell in Betrieb genommen.
Angetrieben durch die steigende Nachfrage der Halbleiterindustrie benötigte Wacker Chemie eine vollautomatische End-to-End-Lösung, die Reinheit, Prozesszuverlässigkeit und Skalierbarkeit vereint. Nach der Vertragsvergabe im Mai 2022 arbeiteten mehrere Abteilungen von SCIO zusammen: Warehouse Intrasolutions leitete das Projektmanagement, SCI (Schiller Cleanroom Intralogistics) steuerte Fachwissen zur Reinraumlogistik bei, und Teams aus München und Duisburg unterstützten bei Roboterlösungen und technischer Dokumentation. Das Projektteam erstellte innerhalb weniger Monate die digitale Layoutplanung der gesamten Anlage.
Die Anlage umfasst ein zentrales Hochregallager für Kleinbehälter (SLC) mit Fördersystem, Handhabungseinrichtungen an den Übergabepunkten der Prozessausrüstung sowie Ein- und Ausgabestationen. Das Hochregallager verfügt über eine fünfstellige Anzahl von Lagerplätzen, sechs Gassen (Regalbediengeräte) und doppeltiefe Lagerung, ist etwa 30 Meter lang und doppelt so hoch wie breit. Die Fördertechnik umfasst über 500 Meter Fördertechnik für Behälter und Prozesspaletten, acht Roboter (darunter Deckelgreifer, Palettengreifer, Entleerungsgreifer) auf zwei Ebenen, die an fünf Schnittstellen versorgen, sowie fünf Brandschutztore als Verschlusseinrichtungen des Fördersystems. Das gesamte System umfasst acht Roboterarbeitszellen und maßgeschneiderte Edelstahl-Fördersysteme, um die höchsten Anforderungen an Präzision und Reinheit bei der Handhabung von Polysilizium zu erfüllen.
Die digitale Zwillingstechnologie spielte eine zentrale Rolle bei der Projektumsetzung. Sie ermöglichte dem Team, die Interaktion aller IT- und Anlagenkomponenten umfassend zu testen und die Bediener vorab zu schulen, was die anschließende Inbetriebnahme vor Ort erheblich beschleunigte. Das Projekt stellte extrem hohe Anforderungen an die Vermeidung von Produktkontaminationen. Da bei der Zerkleinerung zuvor abgeschiedener Siliziumstäbe ein geringer Eintrag von Fremdatomen kaum vollständig vermeidbar ist, müssen die zerkleinerten Siliziumscheiben mit hochkonzentrierten Säuren geätzt werden, um eine saubere Oberfläche zu gewährleisten. Wacker stellte hierfür Materialproben für Tests zur Verfügung. Dank der Erfahrungen, die SCI zuvor bei der Installation von über 50 Metern Reinraumfördertechnik im Projekt „Regenschirm" gesammelt hatte, verfügte das Team über fundierte Kenntnisse der spezifischen Anforderungen von Wacker Chemie. Das gesamte System wurde mit hoher Präzision umgesetzt, das komplette Fördersystem, einschließlich Reinraumfördertechnik und spezieller Behälterfördertechnik, wurde aus einer Hand geliefert.
Die interne Zusammenarbeit bei SCIO führte zu weiteren Meilensteinen: Von der Vormontage des Fördersystems in Benningen über die Werksabnahme in Osterhofen bis zur virtuellen Inbetriebnahme im Juni 2023 verlief alles effizient.
Die Wacker Chemie AG ist ein global tätiger Spezialchemiekonzern, dessen Halbleitersparte ein wichtiger Zulieferer für die internationale Halbleiterindustrie mit über 3.000 Produkten ist. Die von dem Unternehmen initiierten Forschungs- und Innovationsprojekte werden im Rahmen des EU-Programms „Important Projects of Common European Interest" (IPCEI) für Mikroelektronik und Kommunikationstechnologie mit bis zu 46 Millionen Euro gefördert, von denen die Fördergeber das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWE), das Bayerische Staatsministerium für Wirtschaft, Landesentwicklung und Energie sowie die Europäische Union sind.
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