de.wedoany.com-Bericht: VIEW Micro Metrology führt in seinen Systemlaboren in den USA und Asien eine Reihe von internen und kundengetriebenen Messstudien durch, wobei sich die anwendungstechnischen Teams in der Forschungsphase befinden.
Das Systembewertungslabor von VIEW Micro Metrology in Rochester, New York, ist mit der gesamten Palette der VIEW-Messwerkzeuge ausgestattet. Diese Einrichtung unterstützt sowohl interne Entwicklungsarbeiten als auch praktische Kundenanwendungen und bietet technische Validierung und Prozessoptimierung für fortschrittliche Halbleitergehäuse und andere Fertigungsumgebungen.
Eine zentrale Studie konzentriert sich auf den Messdurchsatz von Chips mit Ball Grid Array (BGA) auf 200-mm-Wafern. Jeder Wafer enthält etwa 1300 Chips, und jeder Chip hat 110 Lötkugeln. Ziel der Studie ist es, die Messeffizienz und Datenqualität in Szenarien mit hohem Prüfvolumen zu bewerten. Die Schwerpunkte umfassen: den Vergleich des Zeitaufwands zwischen den Rezepten „Bewegen und Messen" (MAM) und „Kontinuierliche Bildaufnahme" (CiC™) für die Größenmessung einzelner Lötkugeln; die Erkennung von Kugelpositionsfehlern auf dem Wafer; eine vergleichende Analyse der Z-Höhenmessung von Kugeln mittels Through-The-Lens (TTL)-Laser und Area Multi-Focus (AMF™)-3D-Bildgebung; sowie die Wiederholbarkeitsbewertung von 25 Wafern innerhalb derselben Charge. Die Ergebnisse werden voraussichtlich Ende dieses Sommers veröffentlicht.
Neben der Forschung auf Wafer-Ebene ist das Labor auch an einem Projekt für eine Gasverteilerplatte beteiligt, die im Wafer-Abscheidungsprozess verwendet wird und einem Halbleiter-„Duschkopf" ähnelt. Ein ähnliches Bauteil für die Luft- und Raumfahrt wird ebenfalls untersucht. Die Durchgangslöcher in der Gasverteilerplatte haben typischerweise einen Durchmesser von mehr als 250 µm, was innerhalb der Fähigkeiten des VIEW-Messsystems liegt. Die Herausforderung bei der Prüfung ergibt sich jedoch aus den Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Merkmale, die Genauigkeit der Ist-Position und des Abstands, die Oberflächentopologie sowie die Gesamtpositionsgenauigkeit. Die Fehlererkennung ist ebenfalls erforderlich, einschließlich der Identifizierung von verstopften oder teilweise verstopften Löchern, Mikrorissen, Vertiefungen, Rückstandsansammlungen und Oberflächenverunreinigungen. Der Durchsatz ist ein entscheidender Faktor für solche Anwendungen und betrifft die Frage, ob das Prüfgerät die für die Inline-Produktion erforderliche Messgeschwindigkeit erreichen kann und ob Hersteller eine 100%ige Prüfung ohne Qualitätseinbußen realisieren können.
In Asien erweitert der autorisierte VIEW-Vertreter V Eye Precision in Thailand die Anwendungsentwicklung für die BGA- und optischen Transceiver-Märkte und unterstützt Kunden in Thailand, Singapur, den Philippinen und Indonesien. Die BGA-bezogenen Arbeiten konzentrieren sich hauptsächlich auf die Messung der Kugelhöhe und -koplanarität, die entscheidende Parameter für zuverlässige elektrische Verbindungen und eine hohe Ausbeute in der nachgelagerten Montage sind. Gleichzeitig treibt V Eye auch die metrologischen Anwendungen in der Fertigung optischer Transceiver voran. Optische Transceiver-Geräte integrieren submikrometergenaue photonische Strukturen, Glasfaserschnittstellen und präzise Gehäuse, die extrem hohe Anforderungen an die Ausrichtungstoleranzen stellen; selbst eine Abweichung von ±1 µm kann die optische Kopplungseffizienz erheblich beeinträchtigen.
Die oben genannten Forschungsarbeiten von VIEW zielen darauf ab, Kunden dabei zu unterstützen, einen höheren Durchsatz zu erzielen, die Ausbeute zu verbessern und zuverlässige, skalierbare Prüfungen in fortschrittlichen Gehäuseumgebungen zu realisieren. Durch die Ermöglichung präziser, rückverfolgbarer 3D-Messungen verwandelt VIEW-Messtechnik die Prüfung von einem passiven Qualitätstor in ein aktives Engineering-Werkzeug, das es Kunden ermöglicht, subtile Prozessabweichungen zu erkennen und Nacharbeiten zu reduzieren.
VIEW Micro Metrology ist ein Unternehmen, das leistungsstarke, hochpräzise integrierte Messlösungen anbietet, die für den Einsatz in oder in der Nähe der Produktionslinie konzipiert sind, hauptsächlich für die Halbleiter-, Elektronik- und Medizinbranche. Die Lösungen nutzen fortschrittliche berührungslose optische Messsysteme und vielseitige Software, um präzise Anwendungen mit hohem Durchsatz zu ermöglichen. Alle Lösungen sind schlüsselfertig und bieten Unterstützung bei der kollaborativen Konstruktion und Produktionsintegration.
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