de.wedoany.com-Bericht: Das südkoreanische Unternehmen SM Instrument (SM) hat an Samsung Display ein auf Ultraschallsensoren basierendes System zur Erkennung von Gaslecks in Halbleiteranlagen ausgeliefert, das innerhalb von 0,5 Sekunden detektiert, und bereitet dessen Einsatz in Halbleiterproduktionslinien vor.
Der Geschäftsführer von SM, Kim Young-ki, der das 20-jährige Bestehen des Unternehmens feiert, erklärte auf einer am 18. abgehaltenen Pressekonferenz zur Vorstellung der Unternehmensvision, dass sich SM auf den Bereich der Gas- und elektrischen Leckagegeräusche spezialisiert habe und mit dem neuen Produkt „BATCAM CX“ den globalen Markt für Halbleitergasschränke erobern wolle.
Der BATCAM CX ist eine Ultraschall-Leckerkennungslösung für Halbleitergasschränke; das Unternehmen hat zudem ein explosionsgeschütztes Modell, den BATCAM eCX, auf den Markt gebracht. Kim Young-ki betonte, dass SM als erstes Unternehmen der Branche die bisher nur in der Erprobungsphase befindliche ultraschallbasierte Gasleckerkennungstechnologie so weit produktisiert habe, dass sie sofort in realen Halbleiter-Massenproduktionslinien eingesetzt werden könne.
SM hat die AURORA-Plattform eigenständig entwickelt und besitzt deren Rechte. Dabei handelt es sich um eine multimodale KI-Engine, die verschiedene in Industrieumgebungen anfallende Signale umfassend analysiert und akustische mit Bilddaten kombiniert, um Anomalien präzise zu identifizieren. Selbst in komplexen Lärmumgebungen kann diese Plattform selektiv die wichtigsten Anomaliesignale extrahieren und den Gerätezustand in Echtzeit analysieren. Kim Young-ki wies darauf hin, dass sich AURORA von einer reinen Anomalieerkennung zu einer intelligenten Plattform entwickelt, die auf verschiedene Industriebereiche ausgeweitet wird.
Der BATCAM CX basiert ebenfalls auf der AURORA-Plattform und verkürzt die herkömmliche Erkennungszeit für Gaslecks in Halbleiteranlagen von mehreren Minuten auf unter 0,5 Sekunden.
In Halbleiterprozessen werden gefährliche, giftige und brennbare Gase wie Wasserstoff, Silan und Ammoniak verwendet, weshalb eine frühzeitige Reaktion entscheidend ist. Herkömmliche konzentrationsbasierte Gassensoren benötigen mehrere zehn Sekunden bis Minuten, um ein Leck zu erkennen, während der BATCAM CX die bei einem Gasleck entstehenden schwachen Ultraschallwellen selbst aus 200 Metern Entfernung innerhalb von 0,5 Sekunden erfassen kann. Bei der Live-Demonstration am selben Tag erkannte er sofort das Geräusch eines schwachen Sprühstoßes aus etwa 10 Metern Entfernung.
Kim Young-ki erklärte, dass auch Unternehmen wie SK Siltron Tests durchführen und allein der Bedarf von Samsung Electronics und SK Hynix für Halbleiterprozesse bei etwa 80.000 Einheiten liege, was einen Markt mit einem Volumen von 300 bis 500 Milliarden KRW eröffnen dürfte. SM erwartet für dieses Jahr einen Umsatz von 13 Milliarden KRW und einen globalen Marktanteil von etwa 35 %.
SM zog 2006 erstmals in das KAIST-Gründerzentrum ein. Kim Young-ki arbeitete zuvor bei LG Electronics, wechselte dann zum Korea Aerospace Research Institute (KARI), wo er im Bereich Satellitenentwicklung für Akustik zuständig war. Aus Interesse gründete er das Unternehmen und erhielt Unterstützung von Professor Park Yong-hwa, einem Experten für Lärm und Vibrationen am Fachbereich Maschinenbau des KAIST. Das Unternehmen lieferte außerdem fünf Überwachungssysteme für Hilfstriebwerke (APU) von Flugzeugen an United Airlines am Newark Airport, die verhindern, dass Flugzeuge am Boden unnötig gestartet werden, was jährlich Treibstoffkosten in Höhe von mehreren zehn Milliarden KRW einsparen kann. Darüber hinaus führt SM in der Stadt Daejeon Tests mit einem intelligenten Verkehrslärm-Überwachungssystem durch.
Die US-amerikanische Instrumentenmarke Fluke hatte ein Übernahmeangebot für SM unterbreitet. Kim Young-ki fügte hinzu, dass das 20-jährige Jubiläum ein Wendepunkt sei und die Vision auf „Industrielle Intelligenz“ festgelegt wurde. Das Unternehmen plane, im nächsten Jahr an den KOSDAQ zu gehen, habe bereits einen Hauptkonsortialführer ausgewählt und werde künftig in einen umfassenden Wettbewerb mit Fluke treten.
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